四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的一種電子氣體，是一種非常強的溫室氣體。直接排放將會給全球環境帶來巨大的破壞。

        利用活性炭治理四氟化碳的主要過程首先是利用活性炭和吸脫附設備對四氟化碳進行捕捉吸附，吸附飽和完成后，再進行脫附并回收四氟化碳，回收的四氟化碳經過提純后可重復使用。活性炭在使用1-2年后失效，可在反應爐中與氟氣反應生成四氟化碳，吸附的四氟化碳也在生產過程中釋放回收，達到四氟化碳的循環使用。

        四氟化碳專用活性炭的主要特點在于不但能夠高效吸附電子氣體，特別是四氟化碳，而且在吸附飽和后仍能滿足利用活性炭制備四氟化碳的要求，這就要求活性炭具有較高吸附值和較低酸溶性物質，還要有合適的比表面積與孔隙分布，以便于制備過程中提升反應效率。我公司利用固定碳含量高的煤種，通過工藝進一步降低灰分和堿金屬物質，再通過活化控制比表面積孔隙率，使得活性炭在滿足吸附脫附要求的同時也滿足了制備四氟化碳的需求。該活性炭在四氟化碳生產工藝中對粗品純度有較大提高，為下一步精餾處理大大降低了負擔和額外消耗。

四氟化碳活性炭回收CF4和再利用流程

四氟化碳專用活性炭參數表（QB/HH/QMSP01-01-2018）